ГОСТ 5.2105-73
Скачать ГОСТ 5.2105-73 Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции
Категории ГОСТ 5.2105-73 по ОКС:- Статус документа:
- действует
- Назначение ГОСТ 5.2105-73:
- Настоящий стандарт распространяется на лазерный эллипсометрический микроскоп ЛЭМ-2, предназначенный для определения эллипсометрических параметров поляризованного света, определяемых по углам поворота оптических элементов в момент погасания, что позволяет использовать прибор для измерения толщины и показателя преломления прозрачных диэлектрических покрытий на отражающих полированных поверхностях различных материалов и, в частности, на полупроводниковых пластинах, а также для контроля равномерности и однородности диэлектрических пленок по площади и определения наличия и толщины окисла в окнах, вытравленных в процессе изготовления полупроводниковых приборов
- Поправки и изменения к ГОСТ 5.2105-73
- стандарт не имеет поправок
Доступные для скачивания версии ГОСТ 5.2105-73:
Тип файла:
Дата добавления:
Загрузок:
Размер:
Ссылка на скачивание:
Добавлен:
12/12/2011 01:58
Скачиваний:
118
Размер файла:
0.53 Мб
Ссылка для скачивания:
